Was ist ein lithographiesystem?
Zwar ist das Prinzip vergleichsweise einfach. Schließlich ist ein Lithographiesystem nichts anderes als ein Projektor: Licht wird durch eine Blaupause auf einen Wafer übertragen, also auch eine nicht mal einen Millimeter dünne Siliziumscheibe, die zuvor mit einer Chemikalie überzogen wurde.
Wie funktioniert der Steindruck?
Der Steindruck gehört zu den Flachdruckverfahren und beruht darauf, dass ein feuchter Stein mit fetthaltiger Farbe eingewalzt wird, der die Farbe jedoch abweist, denn Fett und Wasser verbinden sich nicht, sondern stoßen einander ab. Die zuvor auf den Stein aufgebrachte Zeichnung nimmt jedoch die Druckfarbe an.
Was ist Lithographie Optik?
Der Begriff Lithographie-Optik steht dabei stets für die zwei Komponenten, aus denen diese aufgebaut ist: Projektionsoptik und Beleuchtung. Mittels der Projektionsoptik werden dann die gewünschten Strukturen auf den Wafer aufgebracht. Aus diesen Strukturen entstehen in weiteren Prozessschritten die Schaltkreise.
Wie funktioniert EUV Lithographie?
Wie funktioniert EUV-Lithographie? EUV-Licht ist sehr schwierig zu erzeugen. Um es herzustellen, schießt ein sehr starker Laser in einer Vakuumkammer auf vorbeirauschende Zinntröpfchen – und zwar 50.000 Mal in der Sekunde! Dabei entsteht ein Plasmablitz mit der gewünschten Wellenlänge von 13,5 Nanometern.
Wie wird eine Lithographie gemacht?
Es wird das zu druckende Motiv seitenverkehrt mit Fettkreide oder -tinte direkt auf eine plan geschliffene Steinplatte gezeichnet. Diese wird anschließend mit Ätzflüssigkeit behandelt. An den Stellen, wo sich keine Zeichnung befindet, dringt die Flüssigkeit in die Poren des Steins ein.
Wie funktioniert die Lithografie?
Der Begriff Lithographie leitet sich vom altgriechischen Begriff für den Stein (Lithos) sowie dem Schreiben (Graphein) ab. Wird später die Druckerschwärze auf den Stein aufgetragen, so bleibt diese nur an den mit Tinte oder Kreide gezeichneten Stellen haften. Die ätzende Flüssigkeit hingegen stößt die Druckerfarbe ab.
Welches Licht oder Wellenlänge wird bei der Lithographie verwendet?
EUV-Lithografie (auch kurz EUVL) ist ein Fotolithografie-Verfahren, das elektromagnetische Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 nm (91,82 eV) nutzt, sogenannte extrem ultraviolette Strahlung (englisch extreme ultra violet, EUV).
Was produziert ASML?
Die ASML Holding N.V. ist ein niederländisches Unternehmen und der weltweit größte Anbieter von Lithographiesystemen für die Halbleiterindustrie. Die überaus komplexen Maschinen spielen eine wichtige Rolle bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (Mikrochips).
Was ist die Fotolithografie?
Hilf der Wikipedia, indem du sie recherchierst und einfügst. Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten.
Was ist das Grundprinzip der Photolithographie?
1) Das Grundprinzip der Photolithographie. Durch die Beleuchtungseinrichtung (Lichtquelle und Kondensor) wird eine gleichmäßige Ausleuchtung der Maske erreicht (Abb. 1).
Wie wurde die Lithografie verwendet?
Auch für Ansichtskarten, Werbeverschlußmarken, Etiketten oder den sogenannten Liebigbildern und Briefmarken wurde die Lithografie als Drucktechnik verwendet. Darüber hinaus wurde die Lithografie für Verpackungen der Nahrungs- und Genussmittelindustrie,…
Was ist eine optische Lithografie?
Bei der optischen Lithografie wird die Struktur einer Fotomaske mittels Schattenwurf oder Projektion in einen lichtempfindlichen Fotolack übertragen. Das Auflösungsvermögen, das heißt die Fähigkeit des optischen Systems, die kleinsten Strukturen in den Fotolack abzubilden,…